L'éclairage des échantillons avec de la lumière blanche permet de créer des spectres d'interférence en fonction de l'épaisseur de la couche géométrique et de l'indice de réfraction des matériaux. Une interférence se produit lorsque la lumière blanche est incidente sur des couches optiquement transparentes, car la différence de trajet entre les longueurs d'onde spécifiques est exactement un multiple de l'épaisseur de la couche optique. L'épaisseur maximale mesurable est liée à la puissance de résolution spectrale, l'épaisseur minimale à la bande spectrale à couvrir. La mesure des couches encore plus minces exige de connaître la valeur de l'intensité absolue. Une précision absolue élevée de la longueur d'onde garantit un résultat de mesure exact.
Suivant l'état de la couche, l'épaisseur peut être calculée en utilisant deux méthodes :
Méthode de la crête :
L'épaisseur de la couche est dérivée du maxima et du minima du spectre d'interférence. Cette méthode est très précise et rapide, mais cependant sensible au bruit. Elle convient pour des couches simples < 5 µm.
Méthode de la transformée de Fourier rapide (FFT) :
L'épaisseur de la couche est calculée à partir de la périodicité du spectre d'interférence. Cette méthode insensible au bruit et adaptée aux couches épaisses, elle nécessite cependant un grand effort de calcul et elle est moins précise. Elle convient pour les systèmes mono- et multi-couche de 1-200 µm.
Avantages
- Sans contact et non destructive
- Résultats hautement précis
- Convient pour une répétabilité à court et à long terme
- Réinitialisation rapide des paramètres de revêtement, ce qui résulte en un faible coût concernant la qualité et la consommation de matériaux
Exemples d'utilisation
- Fournit de précieuses informations d'épaisseur des résines photosensibles, des films et des couches diélectriques pour la R&D et de contrôle qualité dans des domaines d'application tels que l'automobile, les plastiques, la peinture, la chimie, l'emballage et la microélectronique
