La couleur peut être mesurée en utilisant un spectrophotomètre qui prend des mesures dans la région visible de la gamme de longueurs d'onde.
L'utilisation de l'interférence de lumière blanche est une excellente méthode pour mesurer l'épaisseur de couche.
La spectroscopie à microscope se concentre sur de petits points de mesure. Plus la structure est petite, plus le positionnement précis de l'échantillon est difficile.
La spectroscopie NIR est une technologie bien établie pour la mesure précise de l'humidité sur la ligne.