Axio Imager Vario Microscope d'inspection des wafers pour les échantillons de grande taille

Axio Imager Vario

Votre microscope droit pour les échantillons de grande taille

Axio Imager Vario pour échantillons de grande taille

  • Introduction

    Examinez des échantillons de grande taille – de manière automatisée et compatible salle blanche

    Analysez les capteurs MEMS les plus petits jusqu'aux wafers XXL ou même des écrans plats complets sans les détruire. Avec une hauteur d'échantillon pouvant atteindre 254 mm et un espace latéral maximum de 300 mm, Axio Imager Vario vous permet d'examiner la gamme d'échantillons la plus étendue. La conception de la colonne garantit une excellente stabilité. Prenez le contrôle de vos wafers en salle blanche – Axio Imager Vario est certifié selon DIN EN ISO 14644-1 et satisfait aux exigences de Classe 5. Un entraînement Z motorisé en complément de la mise au point automatique matérielle garantit le réglage optimal de la position de mise au point.

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  • Points forts
    • Profitez d'une hauteur maximale d'échantillon jusqu'à 254 mm et d'un espace latéral maximum de 300 mm x 300 mm. Choisissez entre deux colonnes manuelles et une motorisée avec commande à 3 touches selon les normes industrielles.
    • Axio Imager Vario effectue la mise au point sur l'échantillon avec le revolver. Vous pouvez ainsi obtenir une précision et une répétabilité de mise au point élevés, surtout avec des échantillons lourds.
    • Avec l'autofocus matériel, vous bénéficiez d'une mise au point rapide et précise sur des échantillons réfléchissants qui présentent un faible contraste.
    • En combinant Axio Imager Vario avec LSM 700, vous analysez des échantillons sensibles en haute résolution sans contact.
    • Axio Imager Vario est certifié conformément à la norme DIN EN ISO 14644-1 et répond aux exigences de salle blanche de classe 5.

           

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  • Salle blanche

    La production de semi-conducteurs et l'inspection des wafers ont lieu dans des salles blanches. Les salles blanches sont classifiées selon la norme DIN EN ISO 14644-1, en les différenciant en fonction du nombre et de la taille des particules par m³. Axio imageur Vario est certifié selon cette norme et répond aux exigences des salles blanches de classe 5. Une salle blanche de classe ISO 5 est équivalente à la classe 100 de l'ancienne norme FED STD 209E (1992). Utilisez le kit de salle blanche, contenant une tourelle porte-objectifs x7, une protection contre les particules et une protection anti-éternuement.

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  • Mise au point automatique matérielle

    Combinez votre Axio imageur Vario avec l'autofocus matériel et bénéficiez d'une mise au point rapide et précise sur des échantillons réfléchissants avec une plage de verrouillage jusqu'à 12000 µm. Vous travaillez avec un système de mise au point offrant une haute précision de 0,3 profondeur focale de l'objectif. Utilisez la mise au point automatique pour vos applications en lumière réfléchie et en lumière transmise, à champ clair, champ sombre, contraste de polarisation, contraste interférentiel différentiel et éclairage oblique.

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  • Téléchargements

    Microscope and Measurement Systems for Quality Assurance and Quality Control

    Capture the essentials of your component. Quickly. Simply. Comprehensively.

    Page(s): 41
    Volume de fichier: 4.478 kB

    Axio Imager Vario

    Examinez des échantillons de grande taille – automatiquement et dans des conditions de salle blanche.

    Page(s): 24
    Volume de fichier: 7.607 kB

    ZEISS Axio Imager.Z2 Vario

    Quality Control of Large-Sized Prismatic Rechargeable Lithium-Ion Batteries Using Light Microscopy

    Page(s): 6
    Volume de fichier: 2.027 kB