Microscope électronique à balayage ULTRA

MERLIN Compact et SIGMA HD

Remplace désormais les FE-SEM ULTRA et SUPRA

ULTRA

  • Introduction

    FE-SEM à ultra haute résolution pour l'analyse de la composition à l'échelle nanoscopique

    La série ULTRA de ZEISS est équipée du le détecteur d'électrons secondaires (SE) intégré à la colonne (In-lens) pour une imagerie topographique claire et un détecteur d'EsB pour  l'imagerie de contraste de composition, ce qui permet l'imagerie et le mélange simultané et en temps réel des deux signaux. Le détecteur d'EsB  incorpore une technologie de filtrage qui permet l'imagerie des électrons rétrodiffusés avec sélection d'énergie (BSE)  à haute résolution à des basses tensions, révélant des détails de l'image jusqu'à présent invisibles.

    Combinée avec le détecteur d'AsB (électrons rétrodiffusés à sélectivité angulaire) optionnel pour l'imagerie de composition et  de l'orientation des cristaux, la gamme des FE-SEM ULTRA fournit des informations nanostructurellles à haute résolution conjointement avec  la topographie de la surface, la composition, l'orientation des cristaux et les domaines magnétiques.

    Découvrez MERLIN Compact et SIGMA HD - nos nouvelles extensions pour nos familles de produits MERLIN et SIGMA. MERLIN Compact et SIGMA HD remplacent les FE-SEM ULTRA et SUPRA.

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  • Points forts

    Principaux avantages des FE-SEM ULTRA

    • Intrinsèquement facile d'utilisation pour une grande fiabilité dans les environnements à plusieurs opérateurs
    • Détecteur d'EsB entièrement intégré pour les informations de composition
    • Imagerie BSE à basse tension à une distance de travail courte : WD = 1mm
    • Courant de faisceau élevé ultra-stable pour les applications d'analyse jusqu'à 100 nA à 0,2 %/h
    • Technologie GEMINI avec détecteur à haut rendement intégré à la colonne pour l'imagerie topographique à contraste élevé
    • Aucun champ magnétique au niveau de l'échantillon
    • Superbes résolution et qualité d'image aux tensions de service hautes et basses
    • Plage de tensions de service extrêmement large de 0,02 à 30 kV
    • Courant du faisceau jusqu'à 100 nA
    • Résolution sub-nanométrique à 15 kV
    • Compensateur local de charge dans ULTRA PLUS pour l'imagerie d'échantillons non conducteurs


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  • ULTRA PLUS

    Compensation de charge – Votre PLUS pour les échantillons non conducteurs

    ULTRA PLUS de ZEISS est l'évolution essentielle et conséquente de notre série ULTRA. Il combine les capacités de détection uniques d'ULTRA55 plus un système révolutionnaire de compensation de charge (CC) pour l'imagerie des échantillons non conducteurs les plus critiques. Cela fait de lui un FE-SEM haut de gamme pour toutes les applications en science des matériaux, sciences de la vie et le monde des semiconducteurs.


    Le compensateur de charge entièrement automatique peut être utilisé en combinaison avec tous les détecteurs intégrés connus depuis l'ULTRA55 : détecteur EsB, In-lens, AsB et Everhart-Thornley monté dans la chambre. Avec la capacité unique de pouvoir être équipé des deux détecteurs intégrés à la colonne même en mode compensation de charge, le ZEISS ULTRA PLUS est un outil d'analyse nanométrique dédié pour l'imagerie à haute résolution et l'analyse des matériaux.


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