Produit

ZEISS GeminiSEM

FE-SEM répond aux exigences les plus strictes de l'imagerie sub-nanométrique, de l'analyse et de la flexibilité des échantillons

ZEISS GeminiSEM est synonyme d'imagerie sans difficultés à une résolution sub-nanométrique. Ces FE-SEM (microscope électronique à balayage à émission de champ) excellent tant dans l'imagerie que dans l'analyse. Des innovations dans l'optique électronique et une nouvelle conception de la chambre vous offrent une meilleure qualité d'image, une plus grande facilité d'utilisation et une flexibilité accrue. Prenez des images sub-nanométriques sous 1 kV sans lentille d'immersion. Découvrez trois conceptions uniques de l'optique électronique ZEISS Gemini.

Idéal pour les plateformes d'imagerie - ZEISS GeminiSEM 360
Découvrez l'analyse efficace - ZEISS GeminiSEM 460
Nouvelle norme pour l'imagerie surfacique – ZEISS GeminiSEM 560

GeminiSEM 360

GeminiSEM 360 est l'instrument idéal pour votre centre d'imagerie, en raison de sa polyvalence maximale pour les sciences des matériaux, les sciences de la vie et l'industrie. Sa colonne optique électronique Gemini 1 offre une imagerie et une analyse de haute résolution pour une large gamme d'applications et de types d'échantillons.
Votre outil pour la flexibilité des échantillons

Une expérience utilisateur sans égale

Une extension exceptionnelle des capacités
Voir les points forts
GeminiSEM 460

GeminiSEM 460 est conçu pour vos tâches analytiques les plus exigeantes et permet d'effectuer une analyse efficace et des processus sans surveillance. Sa colonne Gemini 2 répond aux tâches les plus difficiles de la microscopie analytique. Passez sans problème des conditions d'imagerie aux conditions d'analyse.
Haute résolution et courant élevé

Processus automatisés et personnalisés

Vers plus de possibilités
Voir les points forts
GeminiSEM 560

GeminiSEM 560 élève le niveau de l'imagerie haute résolution, sans distorsion et sensible à la surface. Il acquiert facilement des images en dessous de 1 kV. Quant à Gemini 3 et à son nouveau moteur optique électronique Smart Autopilot, ils offrent la plus haute résolution de la série dans toutes les conditions de travail.
La nouvelle norme pour l'imagerie surfacique

Connaissances d'expert intégrées

Un contraste unique à découvrir
Voir les points forts

Particule de ferrocérium, image Inlens EsB.

GeminiSEM 360

Bénéficiez d'une imagerie sensible aux surfaces et collectez des informations à basse tension ou à un courant de sonde élevé. Découvrez les avantages de la détection Inlens, de NanoVP, de la visualisation contextuelle des images ou de la segmentation pilotée par IA.

_{Légende : Particule de ferrocérium, image Inlens EsB.}

Plus d'informations

Votre outil au service de la flexibilité des échantillons — Obtenez une caractérisation complète de l'échantillon grâce aux deux détecteurs Inlens uniques configurés en parallèle.

Votre outil pour la flexibilité des échantillons

✔ GeminiSEM 360 est l'instrument idéal pour un centre d'imagerie, offrant une polyvalence maximale pour les sciences des matériaux, les sciences de la vie et l'industrie.

✔ La conception éponyme de l'optique électronique Gemini 1 vous permet de bénéficier d'images haute résolution sensibles aux surfaces, offrant une excellente résolution à basse tension et une grande vitesse à courant de sonde élevé.

✔ Rassemblez des informations de haute résolution sur la surface et la composition, même sur des échantillons sensibles, en utilisant un détecteur Inlens pour combiner à la fois l'imagerie des électrons secondaires et rétrodiffusés.

✔ Pour l'imagerie d'échantillons non conducteurs sous un vide plus faible, appelé pression variable, il n'est pas nécessaire de renoncer au contraste Inlens : NanoVP garantit une polyvalence maximale permettant l'imagerie Inlens sans charge.

Une expérience utilisateur sans égale

✔ GeminiSEM 360 offre une expérience utilisateur exceptionnelle : avec son large champ d'observation et sa nouvelle chambre hautement configurable, il est facile d'interroger même de très grands échantillons.

✔ Profitez d'une navigation transparente avec visualisation contextuelle des images et microscopie corrélative via ZEISS ZEN Connect.

✔ Obtenez facilement des images claires et nettes en utilisant les fonctions automatiques, par exemple l'autofocus et les détecteurs intelligents.

✔ Réalisez efficacement les processus d'imagerie et d'analyse avec des ports EDS diamétralement opposés et une géométrie EDS/EBSD coplanaire.

✔ Optimisez le temps de fonctionnement du système grâce au ZEISS Predictive Service et bénéficiez d'une maintenance programmée qui s'effectue lorsque vous êtes prêt.

Particules d'un matériau de cathode d'une batterie lithium-ion, superposition de MEB et Raman — Réalisez des expériences multimodales avec ZEN Connect et comprenez parfaitement vos spécimens. (Particules d'un matériau de cathode d'une batterie lithium-ion, superposition de BEM et Raman.)

Réalisez des expériences multimodales avec ZEN Connect et comprenez parfaitement vos spécimens. (Particules d'un matériau de cathode d'une batterie lithium-ion, superposition de BEM et Raman.)

Une extension exceptionnelle des capacités

✔ L'évolutivité est essentielle pour protéger votre investissement. C'est pourquoi GeminiSEM 360 est branché sur l'écosystème logiciel de ZEISS ZEN core.

✔ Faites appel à ZEN Connect pour combiner des données multimodales et multi-échelles, à ZEN Intellesis pour une segmentation avancée alimentée par l'IA, et aux modules analytiques de ZEN pour la création de rapports et l'analyse des données segmentées. Le stockage de données ZEN vous permet de gérer les projets de manière centralisée en connectant les données de différents instruments de votre laboratoire.

✔ Accédez aux processus et aux scripts créés par d'autres utilisateurs qui peuvent vous aider à résoudre des difficultés en étant membre de la communauté APEER.

✔ Améliorez votre système au fur et à mesure de l'apparition de nouvelles fonctionnalités grâce à une procédure claire de mise à niveau.

GeminiSEM 460

Passez sans difficultés d'une tâche à faible courant et faible kV à une tâche à fort courant et fort kV. Élargissez vos possibilités grâce à un laboratoire in situ de chauffage et de traction. Bénéficiez des avantages d'une configuration EDS/EBSD coplanaire, de cartographies sans ombre des données EDS et de la collecte rapide de cartes EBSD avec 4000 motifs/s.

_{Légende: acier, carte EBSD}

Plus d'informations

Effectuez des analyses rapides et obtenez simultanément un courant élevé et une haute résolution. (Carte EBSD d'un échantillon métallique.)

Haute résolution et courant élevé

✔ GeminiSEM 460 est conçu pour vos tâches analytiques les plus exigeantes et permet d'effectuer une analyse efficace et des processus sans surveillance.

✔ Réalisez rapidement des imageries et des analyses en haute résolution : passez sans problème d'une tâche à faible courant et faible kV à une tâche à fort courant et fort kV, et inversement, grâce à la colonne Gemini 2.

✔ Caractérisez n'importe quel spécimen de manière exhaustive en utilisant plusieurs détecteurs en parallèle.

✔ Pour une analyse efficace, exploitez la chambre polyvalente et choisissez les détecteurs analytiques appropriés.

✔ Utilisez le nouveau mode VP et augmentez le courant pour obtenir des cartes EBSD avec des taux d'indexation de 4000 motifs/s.

✔ Étudiez la composition chimique et l'orientation des cristaux avec deux ports EDS diamétralement opposés et une configuration EDS/EBSD coplanaire. Comptez sur une cartographie à grande vitesse et sans ombre.

Processus automatisés et personnalisés

✔ Avec des analyses aussi puissantes à portée de main, l'automatisation des processus devient essentielle. Créez et configurez vos propres expériences automatisées avec l'API de script Python de ZEISS.

✔ Modifiez les expériences et personnalisez les résultats en fonction de vos propres besoins.

✔ Tirez le meilleur parti de la tomographie STEM : combinez l'inclinaison et la rotation automatiques avec le suivi des caractéristiques. Produisez des tomogrammes 3D avec une résolution à l'échelle nanométrique après avoir envoyé toutes les images alignées à un logiciel de reconstruction 3D propriétaire.

✔ Lorsque vous devez tester des matériaux jusqu'à leurs limites techniques, ZEISS met à votre disposition un laboratoire expérimental automatisé de chauffage et de tension in situ : il vous permet d'observer automatiquement des matériaux sous chaleur et sous tension tout en traçant des courbes de contrainte-déformation à la volée.

Vers plus de possibilités

✔ Développez vos capacités d'analyse dans le domaine des matériaux et des sciences de la vie grâce à une densité de courant exceptionnellement élevée et accordable, même à faible kV, basée sur la conception de Gemini 2.

✔ Profitez de la possibilité d'adapter le système avec une grande variété d'accessoires. La chambre polyvalente peut être configurée non seulement avec des équipements analytiques, mais aussi avec des dispositifs pour les expériences in situ, la cryo-imagerie et le nanoprobing. Le stockage de données vous permet de gérer les projets de manière centralisée en connectant les données de différents instruments de votre laboratoire.

✔ Vous pouvez ainsi bénéficier de la possibilité d'adapter de nombreuses configurations et mises à niveau à tout moment de la durée de vie de votre instrument.

✔ Tous les GeminiSEM sont connectés à l'écosystème ZEISS ZEN core, ce qui vous donne accès à ZEN Connect, ZEN Intellesis et aux modules analytiques de ZEN, qui fournissent des rapports et des processus GxP.

GeminiSEM 560

Découvrez la nouvelle référence de l'imagerie surfacique : imagerie sans champ magnétique à une résolution inférieure à 1 nm et en dessous de 1 kV, aucun problème de polarisation de l'échantillon ou de monochromation, Gemini 3 et son nouveau moteur optique électronique Smart Autopilot, la détection du point optimal selon les conditions de travail – et bien plus encore.

_{Légende : Nanoparticules de FeMn magnétiques, longueur d'une arête d'un cube env. 25 nm. GeminiSEM 560, 1 kV, Inlens SE, champ d'observation 565 nm.}

Plus d'informations

Détails de la surface d'une particule minérale non conductrice à faible kV : GeminiSEM 560 à 800 V, Inlens SE.

Image inférieure à 1kV

✔ Gemini 3 permet une imagerie sans champ magnétique avec une résolution inférieure à 1 nm sous 1 kV, le tout sans nécessiter de polarisation de l'échantillon ou de monochromation. Il comprend la lentille Nano-twin et le nouveau moteur optique électronique Smart Autopilot.

✔ Obtenez des images de matières non conductrices grâce à un nouveau mode de pression variable et à un nouveau système de détection : obtenez des résultats rapides et préservez les caractéristiques en introduisant des échantillons sensibles au vide dans la chambre par le biais du nouveau Gentle Airlock en mode VP.

✔ Analysez facilement les échantillons délicats grâce à la nouvelle chambre de grande taille dotée de deux ports EDS. Produisez une cartographie rapide et sans ombre grâce à un angle solide optimal du détecteur.

Tomographie STEM 3D sur une nanoparticule de CeO2. GeminiSEM 560, aSTEM, champ clair, 30 kV. — Tomographie STEM 3D sur une nanoparticule de CeO₂. GeminiSEM 560, aSTEM, champ clair, 30 kV.

Connaissances d'expert intégrées

✔ Naviguez facilement dans les échantillons en tirant parti du champ d'observation considérablement élargi du système.

✔ Le nouveau moteur optique électronique Smart Autopilot accélère désormais l'imagerie d'échantillons complexes. Il vous permet de gagner du temps tout en rendant obsolètes les longs alignements : le moteur pilote l'optique électronique pour fournir des grossissements de moins de 1× jusqu'à 500 000× tout en prenant en charge l'alignement, l'étalonnage et la mise au point. Un nouvel autofocus à parallaxe breveté est inclus et une nouvelle oscillation automatique vous permet d'obtenir des images claires et nettes en quelques secondes.

✔ Les scripts Python permettent d'utiliser ces fonctionnalités dans des flux de tâches automatisés tels que la tomographie STEM en 3D.

Un point sensible : contraste magnétique sur un aimant NdFeB — Un point sensible : Contraste magnétique sur un aimant NdFeB

Un contraste unique à découvrir

✔ Une fois que vous aurez découvert vos conditions de travail de prédilection, vous aurez alors trouvé les paramètres idéaux pour obtenir l'image parfaite. Le plus dur est de les découvrir. Avec son imagerie sans champ magnétique et la nouvelle colonne Gemini 3, la technologie Gemini vous permet de trouver ces conditions de prédilection et d'obtenir de nouvelles informations.

✔ L'imagerie par contraste magnétique est facile avec un champ magnétique sur l'échantillon inférieur à 2 mT. Réalisez une imagerie spectroscopique en énergie avec le détecteur de rétrodiffusion Inlens sélectif en énergie et une imagerie spectroscopique angulaire des électrons avec le détecteur de rétrodiffusion annulaire.

✔ Rassemblez toutes vos données avec ZEN Connect afin de segmenter et rendre compte de vos résultats.

Entretien avec le Dr Mario Hentschel

Dr Mario Hentschel

Recherche sur les capteurs optiques à l'Université de Stuttgart, 4e Institut de physique et Centre de technologie quantique appliquée, Allemagne.

Témoignage Dr Mario Hentschel Chef des infrastructures de salles blanches et de nanostructuration, premier utilisateur de GeminiSEM 560.

« Nous traitons des micro- et nanostructures pour la détection optique. Par conséquent, il est important pour nous de caractériser nos dispositifs à l'échelle nanométrique. Ces applications exigent une très grande flexibilité du microscope électronique. ZEISS GeminiSEM 560 offre un degré de liberté et d'adaptation étonnant. Nous obtenons des images de très haute qualité, même à partir d'échantillons très difficiles, tels que des polymères hautement isolants, présentant des effets minimes dus à la charge. GeminiSEM 560 sera donc certainement une technologie porteuse pour nos recherches, et nous pensons que cet instrument peut assumer ce rôle avec une souplesse remarquable. »

Ce que vous avez toujours voulu savoir sur les fondamentaux

Les MEB à émission de champ sont conçus pour l'imagerie à haute résolution. La clé des performances d'un MEB à émission de champ est sa colonne optique électronique. Gemini vise une excellente résolution pour n'importe quel échantillon, en particulier à de faibles tensions d'accélération, pour une détection complète et efficace, de même qu'une grande facilité d'utilisation.
La colonne optique Gemini 1 se compose d'un accélérateur de faisceau, de détecteurs Inlens et d'un objectif Gemini.

L'optique Gemini se caractérise par trois composants principaux :

● La conception de l'objectif Gemini combine des champs électrostatique et magnétique afin de maximiser les performances optiques en réduisant au minimum l'influence des champs sur l'échantillon. Cette technique produit une excellente imagerie, même sur des échantillons difficiles tels que les matériaux magnétiques.
● La technologie de booster de faisceau Gemini, un ralentisseur de faisceau intégré, garantit des sondes de petite taille et des rapports signal sur bruit élevés.
● Le concept de détection de Gemini Inlens assure une détection efficace du signal en détectant les électrons secondaires (SE) et rétrodiffusés (BSE) en parallèle, ce qui minimise le temps d'apparition de l'image.

Pour vos applications, bénéficiez de :

✔ La stabilité à long terme de l'alignement du MEB et la façon dont il ajuste sans effort tous les paramètres du système, tels que le courant de la sonde et la tension d'accélération.
✔ Une imagerie haute résolution sans distorsion, même sur de larges champs d'observation, grâce à l'optique sans champ magnétique proche.
✔ L'obtention d'informations uniquement à partir de la couche supérieure de vos échantillons, grâce au détecteur Inlens SE qui produit des images à partir des électrons SE 1 réellement sensibles à la surface.
✔ Un véritable contraste du matériau à très basse tension grâce à la conception du détecteur Inlens EsB.
Tirez parti de l'analyse rapide

La caractérisation complète d'un échantillon exige des performances en matière d'imagerie et d'analyse. De plus, les utilisateurs d'aujourd'hui s'attendent à ce que l'installation et la manipulation de l'instrument soient faciles. L'optique Gemini 2 répond à ces exigences.
Passez facilement de l'imagerie haute résolution au mode analytique

● GeminiSEM 460 est équipé de l'optique Gemini 2, avec un double condenseur.
● Ajustez le courant du faisceau en continu tout en maintenant la taille du spot optimisée.
● Passez en toute simplicité de l'imagerie haute résolution - à faible courant de faisceau - aux modes analytiques - à courant de faisceau élevé.
● Vous gagnez du temps et de l'énergie, car il n'est pas nécessaire de réaligner le faisceau après avoir modifié les paramètres d'imagerie.

Carte EBSD de l'acier.

Restez flexible et travaillez efficacement

✔ Restez flexible : utilisez la densité de courant de faisceau la plus élevée pour l'imagerie haute résolution et l'analyse à la fois à faible et à fort courant de faisceau, indépendamment de l'énergie de faisceau que vous sélectionnez.
✔ Votre échantillon ne sera pas exposé à un champ magnétique : obtenez des modèles EBSD sans distorsion et une imagerie haute résolution sur un large champ d'observation.
✔ Inclinez l'échantillon sans influencer les performances de l'optique électronique. Imager facilement même les échantillons magnétiques.
✔ Choisissez le mode de réduction de charge qui convient le mieux à votre échantillon : compensation de charge locale, pression variable dans la chambre ou NanoVP.
Imagerie en dessous de 1 kV - Connaissances d'experts intégrées

Les optiques Gemini 3 sont optimisées pour des résolutions à basse et très basse tension et pour l'amélioration du contraste. Elles assurent une résolution maximale dans toutes les conditions de travail de 1 kV à 30 kV et se composent de deux éléments qui fonctionnent en synergie : la lentille Nano-twin et le Smart Autopilot, un nouveau moteur optique électronique. D'autres caractéristiques technologiques sont le mode haute résolution du canon et la décélération en tandem en option.

Modes de résolution – Voir plus de détails

Deux modes permettent d'obtenir davantage de détails et plus de signaux de détection pour les images issues de votre MEB. En mode haute résolution, la dispersion réduite de l'énergie du faisceau primaire minimise les d'aberrations chromatiques et permet ainsi des tailles de sonde encore plus petites. En mode de décélération en tandem, une tension de décélération est appliquée à l'échantillon. Utiliser cette fonction pour améliorer encore davantage la résolution au-dessous de 1 kV et renforcer l'efficacité de détection des détecteurs de rétrodiffusion à diode.
La lentille Nano-twin offre :

● Une résolution sub-nanométrique à basse et ultra-basse tension avec une excellente efficacité de détection du signal.
● Des aberrations de lentille trois fois plus faibles à faible kV par rapport à l'objectif Gemini standard - ce qui se traduit par un champ magnétique trois fois plus faible sur l'échantillon, de l'ordre de 1 mT.
● Géométrie et distributions des champs électrostatiques et magnétiques optimisées.
● Un signal amélioré du détecteur Inlens dans des conditions d'imagerie à basse tension.
● Ces caractéristiques permettent de réaliser une imagerie sub-nanométrique sous 1 kV sans immerger l'échantillon dans un champ électro-magnétique.

La précision de la mise au point automatique fine après une mise au point de 1 sec.

Principe de fonctionnement :

● Smart Autopilot optimise les trajectoires des électrons à travers la colonne, assurant ainsi la plus haute résolution possible à chaque tension d'accélération.
● Les autofonctions permettent une transition sans alignement sur toute la plage de grossissement de 1× à 2 000 000× et une augmentation de 10× dans le champ d'observation, ce qui permet de capturer l'image d'un objet de 13 cm en une seule image.
● La mémoire d'image de 32 k × 24 k, combinée au nouveau mode d'aperçu, garantit une densité de pixels sans jointure sur un champ d'observation inégalé

Vidéos d'explication sur la technologie Gemini

Gemini 1

Grande flexibilité des échantillons

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Gemini 2

Rapidité d'analyse

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Gemini 3

Nouvelle norme pour l'imagerie sensible à la surface

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Plaquettes d'or structurées, recherche sur les effets plasmoniques, GeminiSEM 560, BSD.

Application en sciences des matériaux

Tâches et applications typiques

Réalisez l'imagerie et l'analyse d'échantillons réels sans efforts, sur de larges zones ou à une résolution sub-nanométrique.
Découvrez des exemples dans le domaine des nanosciences, de l'ingénierie et des matériaux énergétiques, ou des matériaux biomimétiques, des polymères et des catalyseurs.
Découvrez comment GeminiSEM caractérise les échantillons avec exhaustivité.

_{Légende : Plaquettes d'or structurées, recherche sur les effets plasmoniques, GeminiSEM 560, BSD. Image : avec l'aimable autorisation de l'Université de Stuttgart, Allemagne.}

Voir d'autres exemples d'application

Nanosciences et nanomatériaux

Longueur d'une arête d'un cube env. 25 nm. GeminiSEM 560, 1 kV, Inlens SE, champ d'observation 565 nm.

Dans le cadre de la recherche fondamentale sur les effets plasmoniques. GeminiSEM 560. Sci Adv 3, e1700721, 2017.

Mode vue d'ensemble, champ d'observation extrêmement large, trois pièces d'euros. GeminiSEM 560.

Surface fracturée d'un échantillon de NdFeB démagnétisé, carte EDS. La distribution fine du bore (vert) est facile à distinguer du néodyme (rose). GeminiSEM 460, détecteur annulaire à rétrodiffusion à 3 kV sans biais.

Matériaux énergétiques

Après 500 cycles de charge, 1 kV, détecteur Inlens SE.

Surface d'une pile à combustible à électrolyte en polymère non revêtue, couche microporeuse avec nanoparticules de carbone agglomérées avec un liant et des nanoparticules de platine d'un diamètre de <10 nm.

Sur un substrat d'alumine, à 1,8 kV avec le détecteur Inlens SE pour mettre en évidence la topographie de la surface.

Matériaux d'ingénierie

Échantillon d'acier inoxydable lors d'un essai in situ de traction. Utilisation du détecteur AsB, les images présentent un contraste extrêmement élevé et capturent la formation des bandes de glissement pendant le chargement in situ, comme le montrent les images avant (à gauche) et après (à droite).

Acier inoxydable - essai in situ de traction

Échantillon d'acier inoxydable lors d'un essai in situ de traction. Utilisation du détecteur AsB, les images présentent un contraste extrêmement élevé et capturent la formation des bandes de glissement pendant le chargement in situ, comme le montrent les images avant (à gauche) et après (à droite).

Utilisation du détecteur BSE à énergie d'impact de 1 kV sans biais (gauche) et à énergie d'impact de 1 kV avec biais de 5 kV (à droite), résultant en un contraste et une netteté améliorés des matériaux.

Poudre nanocomposite

Utilisation du détecteur BSE à énergie d'impact de 1 kV sans biais (gauche) et à énergie d'impact de 1 kV avec biais de 5 kV (à droite), résultant en un contraste et une netteté améliorés des matériaux.

Après préparation de la surface par sablage. Le SiO2 écrasé présente une charge positive sur l'image de gauche. Contraste visible uniquement à une grande distance de travail de 5 mm (à gauche) par rapport à une distance de travail plus proche de 1 mm (à droite).

Surface en acier inoxydable

Après préparation de la surface par sablage. Le SiO2 écrasé présente une charge positive sur l'image de gauche. Contraste visible uniquement à une grande distance de travail de 5 mm (à gauche) par rapport à une distance de travail plus proche de 1 mm (à droite).

Matériaux biomimétiques, polymères et catalyseurs

Le tapis de gélatine est stabilisé dans une atmosphère riche en formaldéhyde, ce qui entraîne une réticulation chimique des fibres. Échantillon avec l'aimable autorisation de Fraunhofer IMWS, Allemagne

Sa structure de surface influence fortement le comportement de mouillage vers des propriétés super hydrophobes. Échantillon avec l'aimable autorisation de Fraunhofer IGB Stuttgart, Allemagne.

Film de polyuréthane. Sa structure de surface influence fortement le comportement de mouillage vers des propriétés super hydrophobes. Échantillon avec l'aimable autorisation de Fraunhofer IGB Stuttgart, Allemagne.

Analyse des défauts d'un procédé de soudage de polymères : image d'une surface rompue capturée sous pression variable permettant d'obtenir des informations sur l'adhésion de deux polymères.

Coupe transversale d'une batterie lithium-ion.

Solutions de microscopie pour l'industrie

Tâches et applications typiques

Analyse des défauts de composants mécaniques, optiques ou électroniques
Analyse des fractures et métallographie
Caractérisation de surfaces, microstructures et dispositifs
Distribution de la composition et des phases
Détermination des impuretés et des inclusions

_{Légende : Coupe transversale d'une batterie lithium-ion.}

Voir d'autres exemples d'application

Acier et batteries

Surface de fracture – rupture fragile d'un échantillon d'acier en traction

Inclusions dans un acier, détecteur Inlens SE, 500 V

Cathode de batterie lithium-ion

Le détecteur aBSD à EHT élevée (ici, à 30 kV ) indique avec une résolution et un contraste exceptionnels des structures profondément enfouies telles que des gates FinFET, des bouchons de tungstène et des feuillards d'étain (encadré).

Applications pour composants électroniques et semi-conducteurs

Tâches et applications typiques

Analyse et évaluation comparative de la construction
Contraste de tension passif
Analyse en subsurface
Mesure des propriétés électroniques par sondage
Sélection du site TEM

_{Légende : Le détecteur aBSD à EHT élevée (ici, à 30 kV ) indique avec une résolution et un contraste exceptionnels des structures profondément enfouies telles que des gates FinFET, des bouchons de tungstène et des feuillards d'étain (encadré).}

Voir d'autres exemples d'application

Courant absorbé par faisceau d'électrons (EBAC)

Le procédé de sondage pendant l'imagerie permet d'obtenir des informations supplémentaires sur la fonction. Ici, le courant absorbé par le faisceau d'électrons (EBAC) montre la connectivité d'un circuit avec une pointe de sonde posée sur un nœud.

Connectivité d'un circuit avec une pointe de sonde posée sur un nœud : 2 kV

Gates FinFET

Des images rétrodiffusées montrent des structures profondément enfouies telles que des gates FinFET, des bouchons de tungstène et des feuillards d'étain (encadré) et permettent ainsi de guider l'analyse des défauts pour le processus TEM, un détecteur aBSD à 30 kV.

Virus du SARS-CoV-2, culture, inactivé, coloré en négatif, GeminiSEM 560, aSTEM, HAADF/BF. Échantillon avec l'aimable autorisation de M. Hannah, agence publique Public Health England, Royaume-Uni.

Application en sciences de la vie

Tâches et applications typiques

Caractérisation de la topologie
Imagerie d'échantillons sensibles, non-conducteurs, dégazés ou à faible contraste
Visualisation de l'ultrastructure des cellules, des tissus, etc. à haute résolution
Imagerie de très grandes surfaces telles que des coupes sériées ou des faces de blocs

_{Légende : Virus du SARS-CoV-2, culture, inactivé, coloré en négatif, GeminiSEM 560, aSTEM, HAADF/BF. Échantillon avec l'aimable autorisation de M. Hannah, agence publique Public Health England, Royaume-Uni.}

Voir d'autres exemples d'application

Virus du SARS-CoV-2

Virus du SARS-CoV-2, culture, inactivé, coloré en négatif, GeminiSEM 560, aSTEM, HAADF/BF. Échantillon avec l'aimable autorisation de M. Hannah, agence publique Public Health England, Royaume-Uni.

Cerveau de souris

L'application de la décélération en tandem augmente le contraste à tel point que tous les organites cellulaires sont clairement visibles à haute résolution, cerveau de souris. Avec l'aimable autorisation de C. Genoud, FMI, Bâle, Suisse.

Nodules racinaires de haricots Fabaceae

Examinez de grandes zones avec la tomographie en réseau, l'imagerie en coupe sérielle et en face de bloc. Image de nodules racinaires de haricots Fabaceae capturée avec ZEISS Atlas 5, 78 coupes.

Accessoires

Nanoparticules de ZnO sur un film de carbone, reconstruction par rétroprojection montrant la morphologie 3D des nanoparticules.

Tomographie STEM 3D

La tomographie STEM automatisée sur un FE-SEM est maintenant mise à votre disposition. Un script pour l'acquisition automatisée d'une série d'inclinaisons STEM utilise l'API et effectue les mouvements compucentriques, de rotation et d'inclinaison de la platine, ainsi que l'autofocus et l'acquisition d'images. Le suivi des caractéristiques compense les décalages tout au long de la série d'inclinaison et maintient la dérive entre deux images à un minimum d'environ 50 nm. Le porte-échantillon STEM permet d'incliner la platine à 60° et d'effectuer une rotation de 180°, tandis que le détecteur aSTEM répond à toutes les exigences. Grâce à l'équipe de développement de l'ART (Advanced Reconstruction Toolkit), le logiciel de reconstitution 3D utilise ensuite cette sortie et restitue un modèle 3D de votre échantillon.

reconstruction en 3D de neurones cérébraux de souris. Avec l'aimable autorisation de Christel Genoud, Université de Lausanne, Suisse. — Avec l'aimable autorisation de Christel Genoud, Université de Lausanne, Suisse.

Ultramicrotome en chambre pour le MEB block face de série

Imagez en 3D et sur de grandes surfaces l'ultrastructure d'échantillons biologiques enrobés de résine. ZEISS Volutome est une solution de bout en bout comprenant l'équipement autant matériel que logiciel pour le traitement d'image, la segmentation et la visualisation.

En savoir plus sur ZEISS Volutome

Associez la performance des matériaux à la microstructure avec le laboratoire {_in situ} pour ZEISS FE-SEM

Reliez la performance des matériaux à leur microstructure avec le laboratoire in situ pour ZEISS FE-SEM

Profitez d'une solution intégrée

Complétez votre ZEISS FE-SEM par une solution in situ pour les expériences de chauffage et de traction. Étudiez des matériaux tels que les métaux, les alliages, les polymères, les plastiques, les composites et les céramiques. Combinez une platine de traction ou de compression mécanique, une unité de chauffage, et des détecteurs haute température permettant des analyses. Contrôlez tous les composants du système à partir d'un seul PC grâce à un environnement logiciel unifié pour des tests de matériaux automatisés sans surveillance.

Contactez-nous pour en savoir plus sur les essais in situ

Logiciel de visualisation et d'analyse

ZEISS recommande Dragonfly Pro

ORS Dragonfly Pro est la solution logicielle d'analyse et de visualisation avancée pour vos données 3D acquises avec différentes technologies, notamment les rayons X, le FIB-SEM, le MEB et la microscopie à hélium ionisé. Disponible exclusivement chez ZEISS, ORS Dragonfly Pro propose une boîte à outils intuitive, complète et personnalisable pour visualiser et analyser de larges volumes de données 3D en niveaux de gris. À partir de vos données 3D, Dragonfly Pro permet la navigation, l'annotation ou encore la création de fichiers médias – y compris la production de vidéos. Effectuez un traitement d'image, une segmentation et une analyse d'objet pour quantifier vos résultats.

En savoir plus

Applications liées

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ZEISS GeminiSEM 360 - Field Emission SEM (Flyer)

Informative Imaging and Fast Understanding in Core Facilities.

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ZEISS GeminiSEM 460 - Field Emission SEM (Flyer)

Efficient Analysis and Unattended Workflows

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ZEISS GeminiSEM 560 - Field Emission SEM (Flyer)

Imaging Below 1 kV. Expert Knowledge Integrated.

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ZEISS Solutions for Semiconductor Development, Manufacturing, and Analysis

Accelerating Digital Transformation and Innovation for Semiconductor Electronics

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Evolution of Gemini Electron Optics

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ZEISS GeminiSEM FE-SEM Family

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