ZEISS Axio Imager Vario

Microscope droit pour grands échantillons

Examiner de grands échantillons - compatible avec salle automatisée et salle blanche

Analysez les plus petits capteurs MEMS jusqu’à la tranche XXL ou même les écrans plats à panneaux plats sans les détruire. Grâce à une hauteur d'échantillon allant jusqu'à 254 mm et à un espace latéral allant jusqu'à 300 mm, vous examinez la gamme d'échantillons la plus large possible avec Axio Imager Vario. La conception de la colonne offre une grande stabilité. Prenez le contrôle de votre plaquette dans la salle blanche. Un lecteur Z motorisé associé à l'autofocus matériel assure le réglage automatique de la position optimale de la mise au point.

Chambre blanche

La production de semi-conducteurs et l'inspection des plaquettes sont faites dans des salles blanches. Les salles blanches sont classées selon DIN EN ISO 14644-1, en différenciant par le nombre et la taille des particules par m³. Axio Imager Vario est certifié conforme à cette norme et répond aux exigences de la classe de salle blanche 5. La classe de salle blanche ISO 5 équivaut à la classe 100 de l'ancienne norme FED STD 209E (1992). Utilisez le kit de salle blanche comprenant une tourelle pour embout nasal 7x, une protection contre les particules et un protège-éternuement.

Points forts

ZEISS Axio Imager Vario: Examine large samples – automated and clean room compatible

Profitez de la hauteur maximale d'échantillon jusqu'à 254 mm et de l'espace d'échantillon latéral jusqu'à 300 mm x 300 mm. Choisissez entre deux colonnes manuelles et une colonne motorisée avec un fonctionnement à 3 boutons conforme à l'industrie.
Axio Imager Vario effectue la mise au point avec l’embout nasal sur l’échantillon. Cela signifie que vous pouvez obtenir une précision de mise au point et une répétabilité élevées, en particulier avec des échantillons lourds.
Avec la mise au point automatique matérielle, vous bénéficiez d'une mise au point précise et rapide d'échantillons réfléchissants peu contrastés.
En combinant Axio Imager Vario et LSM 700, vous analysez sans contact des échantillons sensibles en haute résolution.
Axio Imager Vario est certifié selon la norme DIN EN ISO 14644-1 et répond aux exigences de la classe de salle blanche 5.

Mise au point automatique du matériel

TFT Display, brightfield, transmitted light, red, green and blue subpixels

Combinez votre Axio Imager Vario avec la mise au point automatique matérielle et bénéficiez d'une mise au point précise et rapide d'échantillons réfléchissants avec une plage de verrouillage allant jusqu'à 12 000 µm. Vous travaillez avec un système de mise au point offrant une précision élevée de 0,3 de profondeur de mise au point de l'objectif. Utilisez la mise au point automatique pour vos applications en lumière réfléchie et transmise, en fond clair, en fond noir, en contraste de polarisation, en contraste d'interférence différentielle et en éclairage oblique.