 | | Capteur tactile
Sur la base d’une membrane de silicium monolithique 6,5mm x 6,5mm x 300µm d’épaisseur équipée de micros Piezo a été développé un capteur tactile pour scanning passif. Le capteur 3D est conçu pour un diamètre tige de 50 à 500µm et pour un diamètre bille de palpage de 100 à 700µm. Avec une longueur utile de 7mm, il est possible d’effectuer des mesures dans des petites structures avec des forces de palpage inférieures à 0,5mN/µm.
Capteur optique
VIScan est utilisé comme capteur optique pour les mesures 2D en liaison avec un objectif connu sur la base de la microscopie Zeiss. Ce capteur garantit des mesures très précises grâce à sa haute résolution.
Capteurs tactiles et optiques
La combinaison d’un capteur tactile et optique permet la mesure de structures en deux et trois dimensions dans un même système de coordonnées. Une caméra supplémentaire permet la visualisation du palpeur simplifiant la programmation par apprentissage.
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Précision extrême
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Capteurs
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